
Key Features
Langzeitstabile Dünnfilm-DMS Sensortechnologie
Sehr kleines internes Volumen (0,9 cm³)
Im Reinraum Class 100 / ISO Klasse 5 gefertigt und 2-fach verpackt
Hohe Widerstandsfähigkeit gegenüber elektromagnetischen Störungen
Markets & Applications
Maschinen-Automatisierung
Reinstgas-Versorgungssysteme
Gaszylinder
Prozessgas-Analysegeräte
Abgassysteme für CVD- und Ätzanlagen
Prozessanschluss Bauart
Geschraubt
Geschraubt mit integriertem T-Stück für Rohrmontage
Genauigkeit
0,25% der Messspanne
Oberflächenvergütung
0,5 μm Ra oder optional 0,18 μm Ra
Druckart
Absolutdruck
Überdruck
Messbereiche
3 ... 200 bar
Kombinierte Messbereiche
Nenngröße Prozessanschluss
9⁄16-18 UNF (kompatibel mit 1⁄4 VCR®) Verschraubung außen oder innen
Elektrischer Anschluss
M12 Hirschmann® 993-172-100
Werkstoff Messstoff-berührte Teile
Edelstahl 1.4404 (316L)
Ausgangssignal
4-20 mA (2-Leiter)
Schutzart
IP67
Werkstoff Gehäuse
Kunststoff PBT (erfüllt UL 94-V-0)
Edelstahl 1.4301 (304)
Langzeitstabilität
≤±0,25% der Messspanne/Jahr bei Referenzbedingungen
Ausgestattet mit einer äußerst zuverlässigen und hoch genauen Messzelle, mit dem patentierten Ashcroft® Si-Glas™ Sensor, bietet Ashcroft verschiedene Differenzdrucktransmitter speziell entwickelt und konzipiert für die Anwendung in der Reinraumindustrie. Durch die Verwendung einer ultradünnen Einkristall-Membran bieten die Ashcroft Differenzdrucktransmitter eine inhärente Wiederholbarkeit und Stabilität des Sensors und zeichnen sich dadurch als hochgenaue, langzeitstabile und zuverlässige Messinstrumente für die Reinraumdrucküberwachung aus.
Der Silizium-Membransensor ist frei von Klebstoffen oder anderen organische Stoffe, die in der Differenzdruckmesstechnik häufig eingesetzt werden und zu einem Drift der Messwerterfassung oder einen mechanischen Reduzierung der Messgenauigkeit beitragen.
Ashcroft Differenzdrucktransmitter beinhalten die TruAccuracy™-Spezifikation. Die Genaugigkeitsangabe von Ashcroft basiert ausschließlich auf der Terminalendpunktmethodik und nicht auf statistisch abgeleiteten Genaugigkeitsangaben’.
TruAccuracy™ bedeutet, dass die Ashcroft Differenzdrucktransmitter in ihrer Genauigkeitsaussage die Nullpunktabweichung, Nichtlinearität, Hysterese, Nicht-Wiederholbarkeit, Nullpunktverschiebung und den Messspanneneinstellfehler bereits inkludieren.
Dem Anwender steht somit ein einbaufertiges Gerät zu Verfügung, dass nach erfolgter Montage keiner Erstkalibrierung mehr bedarf. Dies reduziert den Zeit- und Kostenaufwand erheblich.
Andere marktübliche Messgeräte beinhalten in der Regel in ihrer Angabe zur Genauigkeit keine Aussagen zur Nullpunktabweichung und Messspannenfehler, sodass zusätzlich zur Genauigkeit diese Messfehler (bis zu ±1,00%) aufaddiert werden müssen um verlässliche Gebrauchseigenschaften zu erreichen.